第二百二十四章：无法绕开的难题（2/5）

历史上，阿斯慢公司要到明年，也就是二零一六年，第一批面向制造的EUV系统NXE:3400B，才会开始批量发售，

NXE:3400B的光学与机电系统的技术有所突破，极紫外光源的波长缩短至13nm，每小时处理晶圆125片，或每天可1500片。

连续4周的平均生产良率可达80%，兼具高生产率与高精度。

三年后推出的NXE:3400C，更是将产能提高到每小时处理晶圆175片。

目前，阿斯慢在售的EUV光刻机包括NXE:3300B和NXE:3400C两种机型。

EUV成功来源于阿斯慢光刻机上游产业链的贯通。

在EUV光刻机超过10万个零件之中，来自硅谷光科集团的微激光系统、德国蔡司的镜头和Cymer的EUV光源是最重要的三环。

一九九七年英特尔牵头创办了EUVLLC联盟，随后阿斯慢作为惟一的光刻设备生产商加入联盟，共享研究成果；二零零零年，阿斯慢收购了花旗国光刻机巨头SVGL(硅谷光刻集团)；二零一二年，阿斯慢收购EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和阿斯慢已经合作已久。